【ＪＡＧI通信】 1/19（木）ナノテクノロジープラットフォーム公開講座

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　〜ふくい産業支援センターから【ＪＡＧＩ通信】をお届けします〜
              
                                                                         
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1/19（木）ナノテクノロジープラットフォーム公開講座 
〜材料の微細加工のためのイオンビーム技術の基礎と実習〜開催のご案内 
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　北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）ナノマテリアルテクノロジーセンタ
ー主催で集束イオンビーム（ＦＩＢ）技術の基礎を学び、電界電離ガスイオ
ン源（ＧＦＩＳ）を用いたＦＩＢ装置の実習を行うことのできる公開講座を
開催いたします。 

 ポスターはこちらからご覧ください。 
http://www.jaist.ac.jp/NanoPlat/news/pdf/GFIS%20chirashi.pdf

 ただいま受講者を募集しております。 
 皆様のご参加をおまちしております。 

■日　時：　平成29年 1月19日（木）　 10:00〜17:00

■場　所：北陸先端科学技術大学院大学
　　　　　JAISTイノベーションプラザ
　　　　　〒923-1211　
　　　　　石川県能美市旭台二丁目13番地いしかわサイエンスパーク内
　　　　　（本学敷地　向かい）

■講　師：   富取　正彦　（ＪＡＩＳＴ応用物理学領域 教授）
　　　　 　　八坂　行人　
　　　　　　　　　（株式会社日立ハイテクノロジーズ、ＪＡＩＳＴ客員教授）
   　　　　　赤堀　誠志　
　　　　　　　　　（ＪＡＩＳＴナノマテリアルテクノロジーセンター准教授）
　　　　 　　宇野　宗則　（ＪＡＩＳＴ技術サービス部 技術専門職員）
　　　　 　　マレク　シュミット　（ＪＡＩＳＴ水田研研究員）

■内容：　Gaに代表される液体金属イオン源を用いた集束イオンビーム(FIB)技
　　　　　術は、透過型電子顕微鏡用試料の作製や半導体製造用フォトマスク
　　　　　の修正など、様々な材料の微細加工に広く利用されている。また近年
　　　　　さらなる微細化に向け、電界電離ガスイオン源(GFIS)を用いたFIB技
　　　　　術が進展しており、本学にもＨ25年度に装置が導入され、Ｈ27年度か
　　　　　らナノテクノロジープラットフォーム事業の登録装置として外部公開
　　　　　されている。本講座では、材料の微細加工に有用なFIB技術を広く良く
　　　　　知っていただくことを目的として、FIBおよび関連要素技術の一つであ
　　　　　る電界イオン顕微鏡(FIM)の基礎を講義するとともに、GFIS-FIB(もし
　　　　　くはGa-FIB)装置を用いてビーム調整や微細加工の実習を行う。

■対象：　企業・他大学等に所属する方で、ＦＩＢ、ＧＦＩＳ−ＦＩＢについて
　　　　　学びたい、あるいは本学のこれらの装置で試料測定を希望される方

■定員：　5〜7名程度（先着順）

■受講料： 6,200円（税込）

■申込方法：受講希望の方は、1.氏名（ふりがな），2.勤務先等・職名，
　　　　　　3.受講の目的，4.本講座に期待すること，5.書類送付先，6.電話番号，
　　　　　　7.メールアドレスを明記の上、
　　　　　　　E-mail（宛先　r-soukatsu@jaist.ac.jp）
              またはFAX（ポスター2ページ目参照）でお申し込みください。

■申込締切：平成29年 1月 10日（火）　【先着順　定員に達し次第締切】　

■問合せ・申込み先：
　 北陸先端科学技術大学院大学　研究国際部　研究推進課　総括・企画係
　 〒923-1292　石川県能美市旭台1-1 
　　TEL：0761-51-1896、1902　FAX：0761-51-1919
　　E-mail：r-soukatsu@jaist.ac.jp

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 以上ご案内いたします。

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　　 お願いします。
 ◇ 皆様方からのご案内がございましたらお知らせください。
　　
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　　　 公益財団法人 ふくい産業支援センター
　　　　　　オープンイノベーション推進部
　       　  ネットワーク推進室　吉田、笹原
   　 〒910-0102 福井市川合鷲塚町61
　　　 TEL: 0776-55-1555　　FAX: 0776-55-1554
　　　 E-mail: fcsn@fisc.jp
       ＵＲＬ：http://www.fisc.jp/fstr/
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